TMC 低频隔振0.6Hz开始的隔振器STACIS III
STACIS? III是一种灵活的高ji主动隔振系统。STACIS采用较好的惯性振动传感器、较好的控制算法和的压电致动器，通过连续测量地面活动，然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动，以实时消除振动。
STACIS 初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现已成为嘈杂环境（包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心）中敏感仪器的行业标准解决方案。
STACIS III包括一个全新的改进型数字控制器DC-2020。这款全新的控制系统在前后面板上采用了新的双核处理器、以太网以及USB串行端口，为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面（GUI）。STACIS在全求已拥有数百个成功的安装案例，是理想的隔振系统，适用于对振动为敏感的仪器。 
TMC 低频隔振0.6Hz开始的隔振器STACIS III
性能：
使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模拟振动来测试4500磅（2045千克）有xiao载荷
TMC 低频隔振0.6Hz开始的隔振器STACIS III
