Horiba 微小液体质量流量控制器LV-F40
概要
Horiba微小液体质量流量计/质量流量控制器LF-F/LV-F系列
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LF-F 和 LV-F 系列数字式液体质量流量控制器采用珀尔帖元件冷却液体，而非更常见的热交换方法。该技术消除了低沸点化学物质沸腾的风险，从而实现更安全的化学控制。
特征
· 通过采用数字回路，实现了高精度?高速响应。
· 可以进行微升以上的微小流量控制。
· 可以进行低沸点液体材料、高粘度液体材料的精密流体控制。
· 超洁净类型
冷却测量方法
该系列液体质量流量控制器中的流量传感器由与毛细管接触的电子冷却元件（珀尔帖元件）以及几个温度检测元件组成。当液体流动时，传感器检测对应流量的温升（ΔT），并以流量显示。与热交换不同，这种冷却方法能够测量低沸点液体的流量。此外，该方法还能防止由于二次排放（汽化）的影响而产生的干扰问题，使精确的流量测量成为可能。
结构/工作原理
LV-F 和 LF-F 系列质量流量计采用相同的测量原理。LV-F 系列还配备一个压电阀和一个内部比较控制回路。对流量设定信号和流量输出信号进行比较，并自动控制阀门孔径，使两个信号匹配以控制液体。由于采用了反馈控制系统，不会因外部因素而导致流量变化，因此确保了稳定和精确的控制。
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选型要求：按以下规格确认型号，并请提供参数：介质名称、量程、接口尺寸。
規格
名称 | 液体质量流量控制器 |
型号 | LV-F20 (PO/MO) | LV-F30 (PO/MO) | LV-F40 (PO/MO) | LV-F50 (PO/MO) | LV-F60 (PO/MO) |
全标度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
检测控制范围 | 5%?满量程 F.S. |
对象液体种类*1 | 可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 |
液体粘度*2 | max值. 0.01 Pa·s (10cp) |
精度*3 | ±1% F.S. |
直线性*3 | ±0.5% F.S. |
重复性*3 | ±0.5% F.S. |
响应精度 | 3秒以内(T98) | 2秒以内(T98) |
使用环境温度*4 | 5?50℃(15?45℃精度的确保) |
温度影响Span | ±0.1%F.S./℃ max值±1% |
工作差压值*5 | 0.05?0.3MPa |
耐压 | 1MPa |
压力损失 | ー |
流量设定信号 | 模拟：0.25?5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议) |
流量输出信号 | 模拟：0?5 VDC(min负荷电阻2kΩ)数字式：RS485(F-Net通信协议) |
驱动电源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA |
外部泄漏规格 | PO类型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO类型：5×10-12Pa?m3/s (He) |
接液部材质 | PO类型：SUS316L，Ni，PTFE，PFA MO类型：SUS316L，Ni |
标准接头 | 1/16”，1/8”卡套； 1/8”VCR | 1/8”SWL类型，1/8”VCR类型 | 1/4”SWL类型1/4”VCR类型 |
名称 | 液体质量流量计（不带控制） |
型号 | LF-F20M-A | LF-F30M-A | LF-F40M-A | LF-F50M-A | LF-F60M-A |
全标度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
检测控制范围 | 5%?满量程F.S. |
对象液体种类*1 | 可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 |
液体粘度*2 | max值. 0.1 Pa·s (100cp) |
精度*3 | ±1% F.S. |
直线性*3 | ±0.5% F.S. |
重复性*3 | ±0.5% F.S. |
响应精度 | 3秒以内(T98) | 2秒以内(T98) |
使用环境温度*4 | 5?50℃(15?45℃精度的确保) |
温度影響Span | ±0.1%F.S./℃ max值±1% |
工作差压值值*5 | max值. 5MPa (视为流量计) / 50?300kPa (with piezo控制阀) |
耐压 | 10MPa (视为流量计) |
压力損失 | max值. 500Pa |
流量设定信号 | 模拟：0.25?5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议) |
流量输出信号 | 模拟：0?5 VDC(min负荷电阻2kΩ)数字式：RS485(F-Net通信协议) |
驱动电源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA |
外部泄漏规格 | 5×10-12Pa·m3/s (He) |
接液部材质 | SUS316L, Ni |
标准接头 | 1/16”，1/8”SWL类型，1/8”VCR类型 | 1/8”SWL类型，1/8”VCR类型 | 1/4”SWL类型1/4”VCR类型 |
*1：LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正(请预先指定所使用 的液体。)
?不能检测含有固体物的液体。
?如果混合液中混合比会发生变化时，请预先进行咨询协商。
?LV-F系列质量流量控制器如果在对象液体中含有粒子等时，请在一次端(入口端)安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。
*2：LF-F类型质量流量控制器根据流量量程，可以适用到 max值，0.1Pa?s。有关高粘度的液体请预先进行咨询协商。
*3： 以SEMI E56-1296为准。
*4： 进行测量?控制的液体温度如果低于环境温度时，使用时请把温差控制在10℃以 内；如果高于液体温度时，使用时请把温差控制在3℃以内。
*5：这是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。
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