技术参数；
真空腔体 |
类型 | 高温型 室温到400℃ | 高低温型 室温到400℃ 室温到-196℃ |
腔体材质 | 304不锈钢 |
腔体内尺寸 | Φ88mmX59mm |
腔体外尺寸 | Φ112X65mm |
腔体重量 | 约2.6KG |
腔体上视窗尺寸 | Φ47mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） |
腔体抽气口 | 可扩展KF16法兰 KF25法兰 |
腔体真空测量口 | KF16法兰（其余接口规格可转接） |
腔体进气口 | 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 硅胶薄膜液体注射口 气管接头可选 |
腔体电接口 | 5KV高压电极，10KV高压电极，4芯8A气密封信号接口，8芯4A气密封信号接口， |
腔体正压 | ≤0.1MPa |
腔体真空度 | 机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） |
制冷接口 | 无 | 3mm液氮管道 |
样品台 |
样品台材质 | 无氧铜（可选纯银热台） |
样品台尺寸 | 26x26mm |
样品台加热方式 | 电阻加热 |
样品台-视窗 距离 | 48mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） |
样品台测温传感器 | PT100型铂电阻 |
样品台温度 | 高温型 室温到400℃ | 高低温型 室温到400℃ 室温到-196℃ |
样品台测温误差 | ±0.5℃ |
样品台升温速率 | 高温50℃/min 大值 |
客戶订制的真空室都可通过我们的工程设计，与您现有的真空系统融合，成为一套功能完整的系统。也可以通过我们的工程设计，预留标准接口及装配位置，方便您日后增配或更换真空部件，实现系统的升级或功能的转换
