STEBIC扫描透射电子束感生电…

作为德国POINT ELECTRONIC (PE)公司国内区代理，裕隆时代向用户提供专业STEBIC扫描透射电子束感生电流电性失效分析系统。

技术特点

相比普通EBIC 

• 基于更先进的薄片技术，STEBIC拥有透射电镜级别的空间分辨率

• 将STEM电镜和EBIC功能结合，为用户提供更广阔的的研究手段

相比电子全息成像系统

• 不需要预先设置真空系统

• 不需要图像重建系统

• 直接解读图像信息

相比样品电流放大器
 

• 图像获取速度更快和更短的像素贮存时间（dwell time）

• 内置IV扫视用偏压电源

• 自动计算像素定量

提升定量测量功能

• 常规化电子束电流

• 直接进行样品间的对比

• 复合强度测量

• 离散强度测量

提升偏压功能

• 常规电镜操作条件下即可成像

• 确定薄片间电子关联

• 检查IV扫视下电子束对样品造成的损坏

• 在相关联的地方，进行电子束吸收电阻变化EBIRCh测量

STEBIC扫描透射电子束感生电流电性失效分析系统应用案例

STEBIC 厚度测量

Si的pn结， 由FIB制样



重点观测

• EBIC/EBAC的信号重叠

• 直接关联HAADF

• 离散强度测量

STEBIC扫描透射电子束感生电流电性失效分析系统

应用案例

SiGe纳米线

 

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