高频箱
本装置采用电感反馈自激式振荡电路，同轴电缆输出，匹配调谐，采用功率反馈进行闭环自动控制（获得国家发明专利），
使等离子体火焰极为稳定，该发生器可使用工业氩气工作，不但点燃ICP火焰容易，同时还节省采用高纯氩气的昂贵费用。
匹配箱
由真空陶瓷可调电容及空气可调电容等组成的性能优良的匹配箱，使之达到**的匹配状态，在负载线圈上获得**的有效输出功率。
定向耦合器
功率控制是采用从定向耦合器取出功率信号经检波放大后，控制振荡电子管的阳极电压，达到功率输出稳定的目的。
进样装置技术指标：
输出工作线圈内径25m，3匝
矩管：三同心型，外径20m的石英矩管
同轴型喷雾器外径6m
**形雾室外径34m
氩气流量计规格和载气压力表规格：
①. 等离子气流量计（100-10）L/h （1.6-16L/min）
②. 辅助气流量计（10-100）L/h （0.16-1.6L/min）
③. 载气流量计（10-100）L/h （0.16-1.6L/min）
④. 载气稳压阀（0-0.4MPa）
⑤. 冷却水：水温：15-25℃ 流量>5L/min 水压>0.1MPa 电阻率>1MΩ
分光器技术指标