300度无氧烘箱坚膜固化烘箱…

300度无氧烘箱坚膜固化烘箱百级无尘烘箱COL
产品简介
详细介绍
  • 参考报价:15000 产地:上海 品牌:上海旦顺 型号:COL 更新时间:2023/12/5
300度无氧烘箱 坚膜固化烘箱 百级无尘烘箱

智能烘箱过程管理系统由上海旦顺实业有限公司自主研发,基于TCP/ip协议,与工厂系统对接,实现自动化烘烤,过程管理。控制方便、操作简单、灵活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的构造,大大提高生产力!

无尘烘箱主要应用于半导体晶圆片光刻涂胶镀膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂胶后的软烘焙Soft baking),曝光、显影后的坚膜硬烘(Hard baking)等工艺,适用半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料的洁净、防氧化烘烤,亦可用于LCDTFTCOMS、生物、医药、光学镀膜、精密元件干燥等生产工艺以及研发机构。


300度无氧烘箱 坚膜固化烘箱 百级无尘烘箱

烘箱主要参数介绍:

温度范围:室温+20℃~300/400/500/600

规格尺寸:

型号

工作尺寸(mm)

功率

COL-1-PC

W450×H350×D450

3.5Kw

COL-2-PC

W450×H700×D450

5.5Kw

均匀度:±1.5%

洁净等级:Class10  Class100(洁净度要求可根据客户需求配置)

含氧量:<=20PPM 50PPM 100PPM 200PPM 1000PPM (含氧量要求可根据客户需求配置)

升温速度:常温~+600,升温速率:0~7/min,升温斜率程序可控

降温速度:降温斜率程序可控

控制系统:PCL+PC工控电脑

公司名称:上海旦顺实业有限公司

业务经理:蒋鑫

300度无氧烘箱 坚膜固化烘箱 百级无尘烘箱



单位名称:上海旦顺实业有限公司
详细地址:上海市沪杭公路3217号
QQ:147224984
联系手机:
联系电话:
我要咨询:我要咨询
传真:
Email:466477634@qq.com