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上海伯东代理美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 100, 属于中型规格栅极离子源. 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.
离子束流: >400 mA; 离子动能: 100-1200 V; 流量: 2-20 sccm; 中和器: 灯丝.
采用双阴极灯丝和自对准栅极.加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.
离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.
通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.
伯东供应KRI 考夫曼离子源 KDC 100 技术参数：
离子源型号 | 离子源 KDC 100 |
Discharge | DC 热离子 |
离子束流 | >400 mA |
离子动能 | 100-1200 V |
栅极直径 | 12 cm Φ |
离子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 2-20 sccm |
通气 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型压力 | < 0.5m Torr |
长度 | 23.5 cm |
直径 | 19.4 cm |
中和器 | 灯丝 |
* 可选: 可调角度的支架
伯东供应KRI 考夫曼离子源 KDC 100 应用领域：
1.溅镀和蒸发镀膜 PC
2.辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
3.表面改性, 激活 SM
4.离子溅射沉积和多层结构 IBSD
5.离子蚀刻 IBE
KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列应用案例:
1. 伯东 KRI 离子源成功应用于离子溅射镀膜 (IBSD)
2. 伯东 KRI Gridded 考夫曼离子源用于离子束抛光工艺
伯东供应KRI 考夫曼离子源 KDC 100
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