应用领域
iEDX-150T镀层测厚仪应用于金属电镀镀层分析领域
技术指标
多镀层分析，1～5层
测试精度：0.001 μm
元素分析范围从铝(Al)到铀(U)
测量时间：10~30秒
SDD探测器，能量分辨率为125±5eV
探测器Be窗0.5mil（12.7μm）
微焦X射线管50kV/1mA，钼，铑靶（高配微焦钼靶）
6个准直器及多个滤光片自动切换
XYZ三维移动平台，MAX荷载为5公斤
高清CCD摄像头（200万像素），准确监控位置
多变量非线性去卷积曲线拟合
高性能FP/MLSQ分析
仪器尺寸：618×525×490mm
样品台尺寸：250×220mm
样品台移动范围：前后左右各80mm、高度90mm
图谱界面
软件支持无标样分析
宽大分析平台和样品腔
集成了镀层分析界面和合金成份分析界面
采用多种光谱拟合分析处理技术
镀层测厚分析精度可达到0.001μm
分析报告结果
直接打印分析报告
报告可转换为PDF，EXCEL格式