Phasics SID4系列 波前传感器
法国Phasics 公司的产品基于其波前测量砖利技术，即4 波横向剪切干涉技术。（4-Wave LateralShearing Interferometry）。在增强型改进型哈特曼掩模的基础之上，这种独特技术将超高分辨率和超大动态范围完美结合在了一起。任何应用下，其都能实现全面、简便、快速的测量。
Phasics SID4系列 波前传感器具有如下独特技术优势：
◆高分辨率相位图：可达400ｘ300。
◆可直接测量高发散光束
◆消色差，匹配CCD整个探测范围，用于不同波长光而无需额外校准。
Phasics SID4系列 波前传感器应用方向：
+ 激光束质量分析
+ 自适应光学
+ 光学系统测量
+ 生物成像
+ 热成像，等离子体表面物理
激光光束测量
自适应光学
光学系统测量
Phasics SID4系列 波前传感器产品参数：
型号 | SID4 | SID4-HR | SID4-DWIR | SID4-SWIR | SID4-NIR | SID4-UV | SID4 UV-HR |
孔径 | 3.6 × 4.8 mm2 | 8.9 × 11.8 mm2 | 13.44 × 10.08 mm2 | 9.6 × 7.68 mm2 | 3.6 × 4.8 mm2 | 7.4 × 7.4 mm2 | 8.0 × 8.0 mm2 |
空间分辨率 | 29.6 μm | 29.6 μm | 68 μm | 120 μm | 29.6 μm | 29.6 μm | 32 μm |
采样点/测量点 | 160 × 120 | 400 × 300 | 160 × 120 | 80 × 64 | 160 × 120 | 250 × 250 | 250 × 250 |
波长 | 400nm~1100nm | 400nm~1100nm | 3~5μm,8~14 μm | 0.9 ~ 1.7 μm | 1.5 ~ 1.6 μm | 250 ~ 450 nm | 190 ~ 400 nm |
动态范围 | > 100 μm | > 500 μm | N/A | ~ 100 μm | > 100 μm | > 200 μm | > 200 μm |
精度 | 10 nm RMS | 15 nm RMS | 75 nm RMS | 10 nm RMS | > 15 nm RMS | 20 nm RMS | 10 nm |
灵敏度 | < 2 nm RMS | < 2 nm RMS | < 25 nm RMS | 3nm RMS(高增益） <1nmRMS(低增益） | < 11 nm RMS | 2nm RMS
@250nm,2μJ/cm2 | 0.5 nm |
采样频率 | > 60 fps | > 10 fps | > 50 fps | 25/30/50/60 fps | 60 fps | 30 fps | 30 fps |
处理频率 | 10 Hz (高分辨率) | 3 Hz (高分辨率) | 20 Hz | > 10 Hz (高分辨率） | 10 Hz | > 2 Hz (高分辨率） | 1 Hz |
尺寸 | 54×46×75.3mm | 54×46×79mm | 85×116×179mm | 50×50×90mm | 44×33×57.5mm | 53 × 63 × 83 mm | 95×105×84mm |
重量 | 250 g | 250 g | 1.6 kg | 300 g | 250 g | 450 g | 900 g |