FMA6606_FMA6607_FMA6608_FMA6609_FMA6610质量流量计OMEGA欧米茄
流量设定点、测量的气体流量和相关的累加器数据通过前面板键盘或数字接口直接以工程单位进行缩放。支持以下度量单位：%f.s.、l/min、l/h、ml/min、ml/h、scfh、scfm、lbph、lbpm、用户定义的eu。
多气体校准
FMA6600系列能够存储多达10种气体的主要校准数据。此功能允许对相同的FMA6600系列进行多气体校准，同时保持每种气体的额定精度。
标准10点NIST校准
可选最多9个额外的10点校准可按每种气体的额外费用订购。
换算系数
在FMA6600和FMA6700系列中存储了多达32种气体的转换系数。此外，还为用户定义的换算系数做了规定。转换系数可通过键盘或数字接口命令应用于十种气体校准中的任何一种。
触点闭合
提供两组干触点继电器输出，以启动用户提供的设备。这些可通过本地键盘或数字接口进行编程，以便在发生指定事件时（例如，当超过低或高流量、压力或温度警报限值或当累加器达到指定值时），继电器可以进行切换。
泄漏完整性
最大1 x 10-9 sccs的氦气进入外部环境。
FMA6600/FMA6700传感器不得用于监测氧气，除非专门清洁并准备用于此类应用。订购详情见下文。
规格
准确度：
fma6700：±1%的fs，包括线性度[0至50°C和0.35至6.8 bar（5至100 psia）]
fma6600：校准条件下fs的±1%【101 kPa（14.7 psia）和21.1°C（70°F）】
压力范围：0至6.8巴（100磅/平方英寸）（测量）
压力精度：fs的±1%
温度范围：0至50°C（测量）
温度精度：±1°C
重复性：满刻度的±0.15%
响应时间：单位高达10 lpm@1.0秒，单位大于10 lpm@2秒，在设定值的±2%范围内，超过满刻度的25%至100%
临时雇员。系数：满量程的0.15%/°C或更高
压力系数：0.01%满量程/psi（0.07巴）或更好
最大气体压力：
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