无氧烤箱AO-2DS FC针对晶圆产品的连续烘烤,满足测试要求和老化验证需求
矽旺无氧烤箱AO-2DS FC特点:
无氧烤箱AO-2DS FC针对晶圆产品的连续烘烤,满足测试要求和老化验证需求。同时采用快速风冷设计模块,缩短整个工艺时间。烘烤放置于12英寸和8英寸金属料盒中的晶圆片。
AO-2DS FC无氧烤箱规格参数
·电源 AC380V,三相, 50Hz;
·内胆尺寸 W600*D500*H610 mm (双工作腔)
·外部尺寸 W1280xD790xH1720 mm
·功率 18Kw
注:客户12英寸料架尺寸:W368xL310xH217mm. 2个/腔,上下各一个摆放;
客户8英寸料架尺寸:W216xL217xH247mm. 4个/腔,上二下二摆放;
矽旺无氧烤箱AO-2DS FC(针对晶圆产品)的相关产品:
衡鹏代理
矽旺AMSEMI 洁净充氮烤箱(半导体专用)ANN-600
矽旺AMSEMI 高低温试验箱ACT-X50
矽旺AMSEMI 冷热冲击箱(两箱式)AST-100D
矽旺AMSEMI 工业烤箱CM-100T(100级无尘烘箱)
矽旺AMSEMI 【工业烘箱】高温100级无尘无氧烘箱HCM-100