FilmTek?1000系列是一种精确和负担得起的解决方案，用于薄膜厚度和折射率的常规测量。它将光纤分光光谱仪与直观、高性能的材料建模软件相结合，使日常测量任务更加可靠、简单。
FilmTek?1000的配置包括一个小的光斑，配备手动或可选的自动XY平台，以适应75-300毫米晶圆尺寸。FilmTek?1500可以测量透射和反射方式测量，是透明衬底的理想之选。
FilmTek?软件包括完全用户定制的映射功能，可以快速生成任何测量参数的2D和3D数据映射。除了用户定义的模式外，标准模式还包括极模式、x-y模式、rθ模式或线性模式。
