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氦质谱检漏仪TA-830D产品介绍
TA-830D型是一款配置无油干泵的氦质谱检漏仪。适用于对高清洁的真空设备进行检漏
氦质谱检漏仪TA-830D主要技术指标
最小可检漏率:2×10-12Pa·m3/s
漏率显示范围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s
启动时间:≤3min
响应时间:≤0.3s
检漏口的最高压力:1800Pa
极限压强:5×10-4Pa
电源要求:220V,50Hz,单相,10A
工作环境:5-35℃
相对湿度:≤80%
外形尺寸:550(W)×420(D)×700(H)
重量:65kg
氦质谱检漏仪TA-830D主要配置
1.干泵检漏仪专用分子泵
2. 进口干泵
3. 配置标准漏孔
4. 美国AD放大器
5. 采用质谱专用模块
6.台达触摸彩屏