| 徕卡全手动正置材料显微镜-Leica DM3 XL概述 |
徕卡全手动正置材料显微镜-Leica DM3 XL检验系统，快速检测，快速响应。在微电子和半导体的检验、过程控制或缺陷和故障分析中，检测速度快，响应速度快。视场宽敞30%，可快速扫描最大6"样品组件，DM3 XL检验系统凭借大视场能更快地识别缺陷，提高工作效率。
DM3?XL检验系统为中等预算用户提供了高端品质，是微电子和半导体理想的检验系统。 |
| 徕卡全手动正置材料显微镜-Leica DM3 XL性能 |
? 快速检测，快速响应，视场宽敞30%，DM3 XL检测系统能有效节省检验时间
? 快速扫描最大6"的样品组件，放大倍率0.7X宏观物镜即刻采集35.7mm的视场
? 更多细节尽收眼底，常规物镜看不到的区域在宏观概览下无所遁形，可靠检测
晶片边缘或中心显影不足的区域，检测不均匀的径向膜厚度，工作更高效
? 适用于所有相衬观察方法的LED，提供恒定色温，真彩色成像，始终可看到相
同颜色样品，获得可复制的结果，LED使用寿命可达35000小时，且低能耗，
节约成本
? 专业的光学特性，采用斜射照明检验侧面、边缘或碎屑，以简单有效的方式从
不同角度照亮样品，从而实现各种形貌的可视化。借助深暗场对比检测样品较
低层中的微小划痕或小颗粒
? 不同样品–可变载物台插件，有种类丰富的载物台插件供选择，满足各种尺寸
试样的检测需要
? 工作舒适直观，采用人体工学设计，舒适性好，操作更简单 |
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| 徕卡全手动正置材料显微镜-Leica DM3 XL技术参数 |
| 系统 | Leica DM3 XL技术参数 |
| 显微镜支架 | 固定的金属支架 |
| 调焦 | 2档调焦（粗调/微调，采用1μm测微尺刻度，带顶部调焦限位装置）或
3档调焦（粗调/微调，采用1μm和4μm测微尺刻度，带顶部调焦限位装置）
扭矩粗调焦，可调载物台高度挡块 |
| 载物台冲程 | 30mm |
| 入射光 | 坚固的入射光轴，带4位反射镜转盘 |
适用于BF/DF/POL/DIC和FLUO：
?带斜射照明
?带彩色编码光圈辅助（CCDA)
?带中心孔径可变光阑
?带入射光滤片匣（双滤片，直径32mm） |
下列光源可适应所有入射光轴：
?LED-灯箱，带入射光亮度内部显微镜空件
?镜像室106，适用于两种光源的同步调整
?荧光照明SFL 100、4000和7000
?EL6000、Hg50、Hg100、Xe75
?12V100W卤素光源（106或107/2系列灯箱），带独立变压器 |
| 物镜转盘/物镜 | 5孔 BF/DF M32、6孔 BF M25物镜转盘：
?5X、10X、20X高反差平场消色差EPI物镜
?2.5X-100X平场消色差EPI物镜
?1.25X-100X平场半复消色差物镜
?0.7X宏观50X、100X、150X平场复消色差物镜 |
| LED照明 | 适用于所有相衬观察方法的LED
?在所有亮度等级下实现真彩色成像
?自由调节
?无需更换灯泡 – 无停机时间
?可复制的结果 |
| 载物台 | 有种类丰富的载物台插件供选择，适合多种类型和尺寸的试样检验：
?载物台尺寸：150x150mm
?载物台插件：金属插件、晶片支座或掩模支座
?快速的粗略或精准载物台定位 |
| 附件 | 选配放大倍率调节器（1X、1.5X、2X） |
| 选配测量载物台，适用于X、Y和Z向测量 |
| 透射光 | 借助带光纤的外部冷光源照明 |
| 电源 | 稳定的通用电源单元，90-230V |