lynceetec数字全息显微镜DHM R2200在微纳检测和MEMS应用中瑞士Lyncée Tec数字全息显微镜DHM?具有4D实时显微独特优势
Lyncée Tec作为DHM行业领导者, 国内用户有北京大学、清华大学、华中科技大学等知名学府。
DHM 相比其他显微术的独特优势:
1、全视场、非扫描、非接触光学成像,实时动态三维成像。2、 亚纳米级的垂直测量分辨力。3、 具有频闪模式实现微结构运动特性测量
动态形貌——膜形变 MEMS测振分析——惯性传感器 三维形貌——粗糙度析
DHM独一无二的4D形貌测试功能
时间分辨动态轮廓 | 全息MEMS测振分析 |
高达1000帧/秒的动态形貌时序图 | MEMS振动可测频率高达25MHz |
? 静态&超快动态形貌分析(无需扫描,动态可测高度:台阶15um,连续结构200um) | ? 面内面外振幅分析(面内振幅测量精度1nm,面外振幅测量 精度5pm) |
? 表征样品动态响应 | ? 频率共振分析和响应分析 |
? 气体、液体、真空或透过玻璃等多种环境下测量 | ? 复杂运动表征,振动模态表征,样品动态三维形貌 |
4D反射测量 | 高速光学三维质量检测 |
表征透明/半透明形貌 | 在线检测速度可达15厘米/秒 |
? 测量厚度从几纳米到几十微米 | ? 振动不敏感 |
? 可测最高三层透明薄膜 | ? 无需校准 |
? 测量薄膜折射率 | ? 高速测量 |
典型用户
采购单位名称 | 采购时间 | 应用 |
北京大学 | 2016-12-29 | 搭建平面应变鼓膜实验平台测量纳米薄膜的动态力学性能 |
清华大学 | 2014-11-172014-08 | 精仪系>光学及长度计量实验室 型号:DHM-T2103 |
浙江师范大学 | 2012-12-282010-09 |
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华中科技大学 | 2014-08 | 微纳制造与测试,微小光学元件检测,微电子制造封装与测试 |
天津大学 | 2010-09 | 微结构表面形貌和运动特性测量 |
东南大学 |
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苏州大学 |
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lynceetec数字全息显微镜DHM R2200
反射式数字全息显微镜DHM?系列(DHM-R1000, DHM-R2100 、 DHM-R2200) |
动态可测垂直高度(无须扫描情况下) | 连续结构:最高 200 μm
台阶:最高15 μm |
水平分辨率 | 由所选物镜决定,最高 333 nm(@100×) |
垂直精度 | 小至 0.15 nm |
垂直分辨率 (定义为两倍于精度) | 小至 0.30 nm |
精度 (定义为对单一像素点做30次测量后取时域标准差) | 小至 0.01 nm |
垂直校准 | 由干涉滤波决定,±0.1 nm |
垂直扫描下的可测垂直高度 | 由电动样品台决定,最高达 10 mm |
视场 | 由所选物镜决定,从66μm×66μm 到5 mm x 5 mm |
图像抓取速率 | 标准:155fps (1024 x 1024). (可选最高 1000 fps). |
图像抓取时间 | 标准:60 μs (可选高速只需 10 μs) |
工作距 | 由所选物镜决定,从0.3 mm 到 18 mm |
数字自动聚焦范围 | 由所选物镜决定, 最大可达景深的 50倍 |
视场 | 1024 x 1024 像素点 |
工作距 | < 1% |
采样空间 | 1024 x 1024 像素点 |
最低可测样品反射率 (仅对反射式 DHM ) | < 1% |
· lynceetec数字全息显微镜DHM R2200更多海内外应用客户暂未列出,敬请谅解