电子束蒸发镀膜系统-美国PV…

电子束蒸发镀膜系统-美国PVD品牌电子蒸发束设备
产品简介
详细介绍
  • 参考报价:电议 产地:美国 品牌:PVD 型号:电子束蒸发 更新时间:2016/12/12
美国专业的制造商,拥有20多年丰富的经验在:电子束蒸发设备、磁控溅射设备、热蒸发设备等。有以下功能模式:
   electron beam evaporation, 电子束蒸发;
   resistive evaporation,热阻蒸发;
   ion beam assisted deposition (IBAD), 离子束辅助蒸发镀膜;

   effusion cell,泻流源。

PVD产品'完整的热和电子束蒸发系统的设计,以满足客户的特殊需求沉积。这些系统可以包含根据需要的单个或多个热源,多袋式电子束源和多枪源。线性电子束源也可提供。


光纤涂层系统


系统来完成与电源和沉积速率监视器闭环反馈控制。衬底行星或旋转阶段可包括加热到温度超过900℃的根据基板尺寸和材料。此外,离子束辅助沉积(IBAD)或底物预清洗考夫曼,结束音乐厅和RF离子源可以方便地集成到我们的沉积室。


在生产蒸发系统6厘米射频离子源


我们所有的蒸发系统的来完成适当的泵浦包(根据系统要求低温或涡轮泵),湿式或干式机械泵,手动或电动气动阀,所有必需的真空计,完整的电力分配,电子机架,水和空气歧管,安全联锁装置,等等。

多晶片行星圆顶,和基片加热器可被提供为各种基材的形状和大小。负载锁可用于基片直径达8英寸(200毫米)。真空系统可以被设计为具有低于10-9个碱基的压力。



更多关于电子束蒸发镀膜产品信息:
联系人:肖先生
手机:15018538692
座机:0755-26510992
官网:www.pvdproducts.cn




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