激光器

原始MAPLE工作利用受激准分子激光器，但红外激光器提供更好的聚合物膜的品质。原因是每个光子的能量在248纳米（氟化氪）是?5.4伏特工作准分子激光。这是足够的能量来破聚合物链和配体，减少了沉积的聚合物材料的功能。PVD产品MAPLE系统利用尔：说明在2.9微米，每个光子只有约0.3能量的电子伏特运行YAG激光器。因此，由于聚合物链不是由低能量光子断裂聚合物的功能保持不变。的水在此波长的强吸收使得它在许多情况下，良好的溶剂材料。PVD产品还可以提供系统的替代激光器。

样品注入

PVD产品MAPLE系统采用了独特的注塑工艺，使您可以冻结你的聚合物/溶剂混合原位室已被清除水蒸气和其他气体以后。我们MAPLE系统利用快速目标降温和快速的目标升温总成最大限度地提高吞吐量。我们的旋转液氮冷却靶支架总成使得与冷却块优良的热接触冷却的聚合物/溶剂组合，以大大低于-170℃

设计

PVD鈥檚MAPLE系统是围绕我们的流行框样式纳米PLD室建有方便地访问内部组件的大铰链前门。这为从前门容易样品传输。该系统来完成一个全封闭的光学火车和激光束光栅扫描，涡轮抽包，并利用实验室View软件膝上型电脑控制。根据需要阀的包可以是手动的或所有电动气动。各种各样的标准的选择也可以。

系统规格

最大基板尺寸

一个2英寸直径的衬底或多个小样本。更大尺寸玻璃基板和定制基板支架可根据要求提供。

最高衬底温度

300℃典型值，但其他加热器可供选择。

MAPLE目标温度

-194℃（80 K）

工作压力范围

基础压力上的聚合物/溶剂混合物和溶剂的蒸气压在很大程度上取决于

MAPLE目标尺寸

单1.5直径目标的标准，应要求提供更大的目标。

目标基材（MM）距离

从2.5到4英寸可变

光栅路径长度

在整个完整的MAPLE目标

发病的标称角

关于目标的激光束：60掳

主室的基本压力

P <5×10 -7 乇，在室温和无聚合物/溶剂混合物的系统保证。

真空室

框样式室，方便基板/目标的变化。

工作波长

2.9微米（二：YAG激光器），其它激光器/波长应要求提供。

更多关于MAPLE沉积系统产品信息：

联系人：肖先生

手机：15018538692

座机：0755-26510992

官网：www.pvdproducts.cn