冷却
基本功能：
1.能准确的使石墨舟承载装片定位。
2.经过滤的洁净空气有送风机分散吹向石墨舟，保证石墨舟快速冷却。
技术要求：
1.整个冷却房采用不锈钢制作，保证整个设备坚固可靠。
2.进入吹风的空气必须经中效过滤网过滤。
3.吹风机两台，左右各一台，风量1000m3/h。
4.顶部装有吸风罩和手动调节阀，可调节风量和风速。
5.为达到节电效果，必须安装自控装置，当小车进入冷却房后自动启动，冷却到规定时间或小车离开冷却房后都能自动停止。
6.为防止被小车撞击后移动，减震地脚选用能安装膨胀螺钉的地脚。
7.净化风机噪音小于50dB；保证每个部位都能吹到。
8.光电感应自动吹风，微电脑控制。
装片
① 能够确保与PECVD石墨舟承载车准确定位；
② 采用SUS304不锈钢制造，整机结构坚固可靠；
③ 采用GK系列高效空气过滤器；
④ 净化风机噪音小于50dB；
⑤ 保证工作区域内所达到工艺的洁净度。
⑥ PECVD承载车在里面可倾斜15度或旋转180度;