仪器介绍：在镀膜或刻蚀的过程中，实时监测样品膜的膜厚以及光学常数（n,k）变化。 技术参数：·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化 主要特点：将激发和探测头引入生产设备，可实现:· 动态模式:实时监测膜厚变化· 光谱模式：监测薄膜的界面和组分