冷阴极和皮拉尼复合真空规
INFICON的冷阴极和皮拉尼的复合真空规MPG400和MPG401, 测量范围从
5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在一个具有对
数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.
优点
复合真空规 – 冷阴极与皮拉尼
宽的压强测量范围从5x10-9 毫巴至大气压
无可烧毁的灯丝
卓越的引燃功能
易清洗
FPM 或金属密封的馈入件
高压加上时LED 指示灯亮
对数模拟输出讯号
应用
高真空压强监测
蒸发和溅射系统的压强测量
一般真空测量和控制,从中至高真空范围