对于全套系统的各个组件都需要非常专业的设计。水及物料都需要在精确的流量控制下被加到精确的高压。热交换器用于高温下高效热传导，但同时保持精确的温度控制。反应釜需要精确的温度、压力及流量控制；同时必须严格密封无泄露。接下来的处理单元如冷凝器，收集器，气液分离器和压力控制系统等必需有效工作。在超临界流体技术中，超临界水氧化是最具挑战性之一的应用。要达到水的超临界状态，需要超过400oc的高温及适合的高压。之外，由于在氧化过程中产生化学反应性很高的物质，釜体内衬和管道系统需要特殊的材质以解决防腐问题。