ABL3600双轴,大孔径,开放式气浮轴承平台,专为扫描显微镜,掩模,晶片检测独特应用而设计。
设计和结构
结合高硬度气浮轴承和双直线电机驱动可保证XY开放式平台具有杰出的性能特征。ABL3600在性能上是传统机械轴承开放式平台的升级版。
同Aerotech所有气浮轴承系统一样,专有制造技术的使用以生产出杰出几何性能即直线度,平面度,倾斜,滚转和偏转的平台。ABL3600是由Aerotech最先进的产品工厂制造,且通过传统方法不可达到的精确公差加工而来。
无刷直线伺服电机
ABL3600带有高功率直线电机以满足苛刻要求应用的需求。该平台具有直驱机械的所有优势:零背隙,无缠绕,特别的加速度,零摩擦和杰出的伺服硬度。许多应用要求好的运动稳定性,该性能只能通过直线电机驱动才能满足。由于直驱无摩擦及无再循环因素,ABL3600是扫描,成像或其他精密应用的理想选择。
高精度直线编码器反馈
标准反馈设备是高分辨率,非接触,直线编码器。这种非接触式编码器在工作条件先可提供杰出的重复定位精度和稳定性。可提供数字量和模拟量输出两种方式。
线缆管理
经过多年全面深思熟虑的研究,Aerotech可提供工业上最好的线缆管理系统(CMS)。我们仔细优化线缆弯曲半径和只使用高质量线缆以确保多年无故障操作。在很少发生的故障事件中,Aerotech的标准设计可以最小停机时间来提供线缆快速简易更换。
为了使最终系统容易集成,我们在CMS线束中提供所有客户要求线缆,气管等。两端可完全连接以简单集成到客户机器上。
定制系统
Aerotech能设计制造定制高性能系统,以满足客户需求和多种应用性能参数。我们能够吸收超过35年运动控制和定位系统经验来生产满足您应用的最理想的解决方案。