AerotechA9000

产品详情
AerotechA9000
产品简介
详细介绍
  • 参考报价：9999 产地：美国 品牌：Aerotech 型号：200*200 更新时间：2014/9/19
ABL9000气浮平台
1世上最高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合
2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
3行程达1.2米X1.2米
4Y轴双直线电机驱动
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6主动控制偏转
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.10um
直线度±0.50um
平面度±0.50um


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单位名称：北京微纳通科技有限公司
详细地址：深圳市宝安区西乡固戍地铁站宝丰大厦7楼
QQ：995359258
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