波长范围：<1nm-310nm;焦距长度：1m；最高分辨率：0.006nm；
248/310G--掠入射软X射线谱仪
主要特点：
>波长覆盖范围：<1nm-310nm
>最高分辨率可达0.006nm
>+/-4um高精度罗兰圆结构
>支持单点扫描或阵列探测器（可更换）
>带有隔离阀的高精度狭缝
>多种掠入射光栅可选，入射角度可调
主要技术参数
波长范围
<1nm-310nm 取决于光栅
光学结构
掠入射，入射出射角度88-84度
真空度支持
10-6Torr,或10－9Torr
焦距长度
1 m
分辨率，半高宽
0.018nm*
色散
0.05-0.27nm每毫米*
焦平面尺寸
40mm
数值孔径
f/44
光栅尺寸
25*20mm
可选探测器
CCD、MCP或单点探测器
狭缝
10um-2mm连续可调，高度2-20mm可调，手动或电动可选
*以上参数均为1200g/mm光栅参数
不同光栅主要参数
光栅密度（g/mm）
2400
2160
1800
1200
600
300
133.6
75
分辨率**
0.009
0.01
0.012
0.018
0.036
0.072
0.16
0.24
色散（nm/mm）
0.03-0.15
0.03-0.16
0.04-0.18
0.05-0.27
0.08-0.34
0.16-0.7
0.4-1.6
13.3
波长范围1nm至
17nm
19nm
23nm
35nm
70nm
140um
310nm
4.8um