MS520系列单色光谱仪具有高亮度，精度和光谱分辨等优点。该系列谱仪能让光栅做很大角度旋转，因此它能使用阶梯光栅得到0.002nm的光谱分辨率
MS520系列光谱仪具有高亮度，精度和光谱分辨等优点。该系列谱仪能让光栅做很大角度旋转，因此它能使用阶梯光栅得到0.002nm的光谱分辨率，同时针对其他光栅能拓展其光谱操作范围。MS520为全自动谱仪其焦距为520mm，F/# 为1/5.4，有多种光栅可选，其光谱范围从185nm到60μm。
MS520系列谱仪基于C-T非对称光学设计，它能有效较少畸变和阻止来自光栅及镜面的光线再次入射到谱仪内部。
MS5201i和MS5204i系列拥有像散校正功能的光学元件，可以用于多通道的光谱应用。
MS520系列光谱仪拥有一个入射口和两个出射口，系统里面有一个自动的镜子能实现选择从哪个出射口输出。无论是哪个出射口都可以安装出射光谱狭缝或者是多通道探测器。
SOL提供MS520系列单色光谱仪两种类型的入射及出射光谱狭缝：手动模式（用千分尺螺杆手动操作）和自动模式（手动和自动组合的）。自动模式下狭缝宽度可以自动调节。有多种可以选择的光栅，这些光栅能保证系统达到高效率的组合及很高的光谱分辨率。
MS520系列谱仪有多种附件可以选择，比如滤波片轮FWS-8A，高速快门，光纤适配器，探测器等。
MS520系列谱仪的光谱分辨率及光通量都非常高，其分辨率可达0.002nm（中阶梯光栅，75grooves/mm）。通过有效设置及所需附件，该系列谱仪非常实用Raman光谱分析以及荧光研究。
MS520系列各型号对比：
| MS5201 | MS5201i | MS5204 | MS5204i |
衍射单元 | 单一的可手动更换光栅的位置支架 | 单一的可手动更换光栅的位置支架 | 四光栅塔轮 | 四光栅塔轮 |
光学系统 | 标准 | 成像 | 标准 | 成像 |
备注：MS5201和MS5204使用标准光学系统，平面入射偏转镜；MS5201i和MS5204i使用柱面镜用作入射偏转。
MS520 系列谱仪性能参数：
光学系统 |
光学设计 | C-T结构 |
接口 | 1个输入，2个输出 |
波长范围 | 185nm-60μm |
F/#（入射） | 1/5.4 |
焦距（出射） | 520mm |
扫描范围 | 0-1500nm（@ 1200l/mm） |
基础镜片 | 球面镜 |
散射光 | 1×10-6（20nm@激光波长632.8nm） |
焦平面 | 28×10mm |
成像（仅限于MS5201i和MS5204i） |
水平放大 | 1.07 |
垂直方大 | 1.29 |
垂直分辨率 | < 20μm |
驱动 |
马达 | 步进电机 |
驱动 | 正弦 |
步长 | 0.22 角秒 |
精度 | ±1 步长 |
最大速度 | 10 000步长/秒 |
光学参数 |
备注：①：@1200l/mm，546nm ②：@中阶梯光栅75l/mm，200nm，120orders |
色散倒数 | 1.55nm/mm（①） 或0.11nm/mm（②） |
光谱分辨率 |
PMT(狭缝宽度10μm） | 0.028nm（①）或 0.002nm（②） |
数码相机（12μm/p） | 0.034nm（①）或 0.0024nm（②） |
重复性 | ±0.008nm（①）或 ±0.0006nm（②） |
波长精度 | ±0.05nm（①）或 ±0.004nm（②） |
平均扫描步长 | 0.002nm（①）或 0.00014nm（②） |
光栅 |
尺寸 | 80×70×10mm |
旋转 | 光栅工作表面 |
定位 | 4光栅塔轮或1光栅支架 |
光栅切换波长重复性（光栅1200l/mm，546nm） | ±0.02nm（@4光栅） |
光栅切换垂直成像重复性 | ±50μm（@4光栅） |
光栅切换波长重复性（光栅1200l/mm，546nm） | ±0.05nm（@1光栅） |
光栅切换垂直成像重复性 | ±75μm（@1光栅） |
接口 |
入/出射口 | 1个输入，1或2个输出 |
出射口重复性（自动） | ±0.03nm |
切换时间 | 4s |
光谱狭缝 |
宽度 | 自动（马达驱动）或手动（千分尺） |
平行度 | 0-20mm,±1μm |
精度（缝宽 1mm） | ±10μm |
重复性 | ±1μm（±1.5μm@手动） |
读出精度（千分尺） | 2μm |
步长 | 0.5μm |
高度 | 0-10mm |
集成快门 |
透光率（快门关闭） | <0.001% |
开关时间 | 约100ms |
最大重复频率 | 1Hz |
控制 | 板载CPU或TTL |
控制系统 |
内部控制 | 板载CPU |
外部控制 | PC |
外部接口 | RS-232 |
尺寸重量 |
外观尺寸 | 635×339×270mm |
重量 | 25kg （标准配置） |