北京吉兆源科技有限公司为国外提供技术,国内生产的合资品牌高科技企业,并推出国内首款合资品牌射频电源,解决国内电源在行业应用性能不足及国外电源价格昂贵等一系列难题,可应用于等离子体清洗、溅射镀膜、PECVD、刻蚀、医疗美容等领域。
具有:
1>高的可靠性和稳定性
2>大屏液晶显示,操作更加直观
3>高效的功率输出
4>紧凑的结构设计,体积小、重量轻
5>完善的保护功能:过压、过流、过温、反射功率保护
6>完备的附加功能:脉冲调制、主从模式等
7>标准通讯功能:RS232 RS485 标准MODBUS协议
8>集成匹配器操作功能,使匹配器操作更加灵活方便
150W |
输出功率 | 0-150W | 模拟控制接口 | DB15 |
功率稳定度 | ≤±0.5% | 输出接口 | N |
输出频率 | 13.56MHz | 尺寸 | 133(宽)×270(深)×130(高) 标准3U |
频率信号 | 标准正弦波 | 面板尺寸 | 133(宽)×130(高) |
输入电压 | AC180-250v | 重量 | 5Kg |
输入电流 | 1A | 脉冲 | 有 |
输出阻抗 | 50? | 脉冲频率 | 100-10KHz |
承受驻波比 | >3.0 | 占空比 | 10%-90% |
冷却方式 | 风冷 | 主从模式CEX | 有 |
通讯口 | 无 | 匹配器控制 | 有 |