供应韩国ANI公司生产 纳米三维光触测厚系统
-非接触式3维测量
-白光干涉仪
-纳米标准精度 -极高的反复精度和速度 -自动测量高度以及粗糙度(ROI, Line)
-用旋钮可变更倍率(Option)
应用于各大专院校以及各级科研机构 § 显示(液晶显示/等离子/有机发光二极管) § 高度,临界尺寸,范围面积以及缺陷分析. § 半导体/ MEMS (晶片, Bump) § 高度,宽度,深度,形态,粗糙度以及缺陷分析 § 光学,纤维,薄膜,箔材,纸,塑胶.