WT-2000PVN测试平台能够对单…

• 微波光电导衰减法（u-pcd）测试少子寿命
• 表面光电压法（Eddy Current）测试体电阻率
• 表面光电压法（SPV）测试方块电阻
• 多波长光诱导电流（LBIC）测试
• 多波长光反射率（Reflectance）测试
• 多波长内（外）量子效率（IQE/EQE）测试
• P型片铁含量（Fe-B）测试
• 可调光强的偏置光（Bias Light）选项

硅片载流子寿命测试主要特点：

• 独特的u-pcd探头有效的提高信噪比，能适应低电阻率材料的测试
• 可调的微波频率以获得最优化信号，可以满足晶锭的测试需要
• 获得专利的表面钝化技术可以降低表面复合速率，已获得体寿命值
• 多功能扫描，一台设备可以既测定晶片，也可以测试晶锭
• 精度高，重复性好，为业界公认的测试标准

WT-2000PVN 硅片载流子寿命测试系统

           选配测试功能：