性能指标
氦质谱检漏仪对比
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型 号 最小可检漏率Pa.m3/s
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ZLS-23B 2·10-11
ZLS-24B 2·10-11
ZLS-24C 2·10-11
ZLS-26D/T 5·10-12
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型 号 反应(清除)时间 s
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ZLS-23B ＜3
ZLS-24B ＜3
ZLS-24C ＜3
ZLS-26D/T ＜3
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型 号 读数方式
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ZLS-23B 表头（mV）
ZLS-24B 表头和数字（量程自动切换）
ZLS-24C 表头和数字（量程自动切换）
ZLS-26D/T 数字直读
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型 号 特 点
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ZLS-23B 单主机，带标准漏空
ZLS-24B 带一套粗抽系统（泵2XZ-4B），配有一只校准漏孔
ZLS-24C 带二套粗抽系统，适用于批量检漏，配有一只校准漏孔
ZLS-26D/T 涡轮分子泵（德国莱宝50型）前级泵
（日本GLD030）粗抽泵（英国
EDWARDERV12），配有一只校准漏孔