主要技术参数： 有两个检漏接口
仪器最小可检漏率：优于5～10-12Pa～m3/s
仪器最大可检漏率：2×10-1Pa～m3/s
仪器漏率显示范围：2×10-1～2×10-13Pa～m3/s
仪器的反应时间： 不大3s
仪器质谱室允许工作的最高压强：1×10-2Pa
仪器测试口允许工作的最高压强：1000Pa
被检件由粗抽至检清的自动切换点
（检漏点）可调范国：50～10-1Pa
音响器报警点设定范围：任意
背压法检漏时间可调范围：5～30s
仪器的启动时间： 不大于5min
仪器的轮廓尺寸： 640*550*980 mm3
仪器的重量： 约100Kg
产品简介： ZLS-26D/T（双口型）氦质谱检漏仪是为适应生产线上快速工作的要求而研制的。其和ZLS-26D/T相比，真空系统和电路基本相同，检漏指标也相当，只是多一套辅助系统。每一套辅助系统均可单独完成对工件的“初抽—检漏—放气”这样一个完整的检漏工作周期。