1.无油式设计，所有的部件均无油，并在无油的条件下组装和测试
2.方便的移动式设计，低重心、位置适当的把手和光滑的轮廓确保在工作场所随意地移动
3.可靠性甚高的真空系统，包括干式的机械泵以及高压缩比的复合型分子泵
4.液晶显示的版面设计，让检测结果更清晰
5.具有启动快速、移动方便、灵敏度高、性能稳定等优点，在定期维护、临时检修气体管路和其他检漏应用中可快速提供检测结果
最小可检漏率：8×10ˉ13Pa·m3/s
漏率显示范围：1×10-2～1×10-1212Pa·m3/s
启动时间：≤2min
响应时间：≤1s
检漏口最高压力：≤2000Pa
外型尺寸：340(W)×670(D)780(H)
SFJ-261型氦质谱检漏仪是我公司和inficon合作开发而成的产品，采用inficon技术，设备内芯使用inficon成套质谱模块，SFJ-261型氦质谱检漏仪尤其适用于半导体工业精确检漏的要求。 SFJ-261型氦质谱检漏仪将广泛的应用于半导体工艺设备的维护、工业气体系统的检测与安装、元器件在组装前的漏率测试及要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件下的应用场合。