TP20
˙感应方向：±X ,±Y ,﹢Z ˙单方向往返精度(2σ)： 1.标准测力模块0.35μm 2.中等测力模块0.50μm 3.高测力模块0.65μm ˙XY平面预定行程变化： 1.标准测力模块±0.80μm 2.中等测力模块±1.00μm 3.高等测力模块±2.00μm ˙重量：22g ˙触发力量： 1. XY平面-标准8g 2. XY平面-中10g 3. XY平面-高10g
4. Z轴-标准75g
5. Z轴-低65g