触发式测头 MIP
˙感应方向：±X ,±Y ,+Z ˙单方向往返精度(2σ)：0.35μm ˙XY平面预定行程变化：± 1.0μm ˙重量：200g ˙测针感测力量(可调式)：11-30g ˙测针力量(原厂设定值设定)：11-13g