连续扫描测头SP25M
˙三维连续扫描测头，使用TP20模块可做点式测量 ˙测量范围：±0.5mm在各方向得偏移量
˙ ± X, ± Y, -Z轴经由模块与传感器之间的间隔做碰撞保护，+Z轴经由整体碰撞刹车设计做碰撞保护
˙Autojoint接口，可连接PH10M/MQ和PH6M测头座，可使用ACR1/3交换架 ˙分辨率< 0.1 um