四探针测试仪(不含电脑)RTS-9
采用了四探针双位组合测量新技术,将范德堡测 量方法推广应用到直线四探针上,利用电流探针 电压探针的变换,在计算机控制下进行两次电测 量,把采集到的数据在计算机中加以分析,自动 消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和 机械游移等因素对测量结果的影响,然后以表格 图形方式统计分析显示测试结果;
*.适用晶片尺寸:2"~12"(选配探针台);
*.测量范围 - 电阻率:10-4~105 Ω·cm(可扩展)
方块电阻:10-3~106 Ω/□(可扩展)
*.可测晶片厚度:≤3.00mm
四探针测试仪(不含电脑)RTS-9