DCA Instruments 是一家专业从事分子束外延（MBE）和超高真空薄膜沉积系统及组件的设计和制造公司。产品的范围从小型研发系统到300mm生产系统。www.dca.fi
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DCA P600 MBE System是用来生长高质量的Ⅲ-Ⅴ族化合物薄膜的高级MBE系统。该系统有三个真空腔室，分别是：垂直生长室（配有10个或12个泄流盒），可承载多晶片的盒式装载室和线性超真空缓冲室。该系统还可以根据需要增加额外的生长室，分析室和工艺室。该系统可以配备3英寸或4英寸的衬底操控器。