D500/D600系列气体质量流量计MFM（一体型或分体型）用于测量小流量气体流量，具有精度高、重复性好、量程宽、稳定可靠等特点，在半导体集成电路、特种材料、石化、医药、真空等领域,广泛用于镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体采样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
项目 型号 7 9 11
流量范围 0～5,10,20,30,50,100
200,300,500SCCM,
1,2,3,5,10SLM 0～20,30,50,100,150,
200,250,300,500,1000,1500,2000SLM 0～5,10,20,30,50,100
200,300,500SCCM,
1,2,3,5,10,20,30SLM
D500/D600系列气体质量流量计准确度%FS 量程比50:1以内
±1.5，可选±1 ±2 ±2，可选±1
性能 线性±0.5～2%FS，重复性±0.2%FS，响应时间1～4s
工作压降 ＜0.01MPa ＜0.03 MPa ＜0.01 MPa
耐压MPa 3 10，可选15
介质温度 5～45℃
输出信号 0～5VDC
电源 ±15VDC/50mA
防爆功能 无 可选防爆型Ex dIIBT6
外形尺寸 158×30×128 185×45×145 127×30×127
气路连接 6、1/4"双卡套 10、3/8"、1/2"双卡套 6、1/4"双卡套
重量Kg 1 2.5 1.2（6）
以标准状态下（0℃101325Pa）氮气进行标定，其它气体乘以转换系数或者按用户指定气体进行标定。
D500/D600系列气体质量流量计工作原理
在气体压力、温度变化的情况下，质量流量计能精确测量气体的流量。它采用毛细管传热温差量热法原理直接测量气体的质量流量，并将流量传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器进行线性化处理，输出与瞬时流量成正比的电压信号。
我公司还可以为分体型气体质量流量计配套提供盘装智能流量积算控制仪，它内置了流量计的供电电源±15VDC，可选总量定量控制、上下限报警功能，可选变送输出0-5V、4-20mA、0-10mA或RS232/485通讯接口，开孔尺寸152×76mm或92×92mm，电源220VAC。