Gas Mass Flow Controllers / Meters
• 适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制
• 适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，引以为豪。
• 低成本：产品阵容中有力求具有成本优势的型号： SEC-E40MK3/E50MK3
技术规格
型号 SEC- (质量流量控制器) E40/E40MK3 E50/E50MK3
SEF- (质量流量计) E40 E50
适用气体种类*1 非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
气体接触部材质 SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢
阀门型号 非通电时 关闭
标准流量量程 (N2相应F.S.) 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM 20/30 SLM
流量控制范围
(适于SEC系列) 2?100% F.S.
流量测量范围
(适于SEF系列) 0?100% F.S.
响应速度 1秒以内(T98)
流量精度 ±1% F.S.
直线性 ±0.5% F.S.
反复性 ±0.2% F.S.
工作差压值值
(适于SEC系列) 10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用压力
(适于SEF系列) 300kPa(G)以下
耐 压 1MPa(G)以下
外部泄漏率 1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用环境温度 5?50℃(精度的确保：15?35℃)
流量设定信号 0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.
流量输出信号 0?5VDC(最小负荷电阻2kΩ)
驱动电源 +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA ＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
标准接头*2 1/4SWL 类型
型号 SEC- (质量流量控制器) E60 E70 E80
SEF- (质量流量计) E60 E70 E80
适用气体种类*1 N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10 N2、O2、Air、H2