OREL 3D CT 固定射线检测系统可用于微电子产品,特别是对无线电电子产品的缺陷检测。
OREL 作为一个缺陷检测系统可用于检验多层 PCB 产品,亦可用作 BGA 和 μBGA 装置。
3D-CT 系统是 OREL 的升级版。
技术参数:
几何放大率
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最大 2000 倍
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样品最大尺寸
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500 x 500 mm
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像素
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10 micron
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高压范围
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20 – 150kV
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阳极电流范围
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60 – 120 mkA
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控制模式
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自动 / 手动
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显像屏尺寸
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300 x 400 mm
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对焦系统
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全自动电磁
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系统尺寸
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1331 x 1306 x 1910 mm
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系统重量
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1325 kg
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