三级化学隔膜泵是针对腐蚀性气体和蒸汽的一种持续的、无油抽气的解决方案，可以满足许多高真空要求。三级泵的结构同时具有大抽气速度和超高极限真空的优点，而且泵的尺寸非常小。所有与被抽介质接触的部件都是由抗化学腐蚀的氟材料构成。经广泛验证的PTFE“三明治”夹层结构的膜片稳定性更高，延长了操作寿命。将MD 1C配合气镇使用，非常适合用于易冷凝性蒸汽（高沸点溶剂）。