PLUTO-ME定制型等离子表面处…

ALC

纯铝腔体

RF-300

等离子体发生器

频率13.56MHz ，0-300W自动阻抗匹配电源

可调电极

可调节电极间距

电极间距20-60mm可调，改变等离子体场浓度特性

CM装置

沉积镀膜模块

用于改变表面特性：

1. 沉积CF材料，样品表面可以具有憎水的特性

2. 沉积含苯材料，样品表面起到绝缘防水的特性

3. 沉积含有羟基的材料，提高样品表面和其他材料的结合效果。

GP装置

气体纯化装置

PPU

粉体处理装置

用于处理微纳米级别颗粒

气体收集装置

用于收集等离子体化学反应后的气体

小型氧气发生器

用于制备氧气，可取代氧气罐

气体混合装置

可以根据可以要求进行混气设计

感应耦合模块

感应耦合等离子体装置

加热电极模块

电极可以加热，室温~200度可调。

光谱仪模块

可以增加光谱仪的接口，检测等离子体光谱变化

电极转换模块

可以自由变换电极设计，样品可以放在射频电极上，也可以放在地电极上。从而实现不同的处理效果。