FMA-LP2618A-I_FMA-LP2619A-I_FMA-LP2620A-I_FMA-LP2605A-I质量流量控制器OMEGA
最多可存储20种用户定义的气体混合物
FMA-LP2600A系列质量流量控制器 在层流场中使用 差压原理来检测并控制质量流量。 流量计中的层流元件(LFE)迫使 气体进入层流状态（经过整流处理）。按照泊肃叶方程， 在这一区域体积流量 与压降呈线性 关系。使用差压传感器 测量LFE固定距离的 压降情况。同时结合气体的粘度 准确判定体积流量。 引入单独的绝对温度和压力传感器， 并根据一系列标准条件 修正气体流量。这种标准化 流量通常称为质量流量， 使用标准立方厘米/分钟(SCCM) 或标准升/分钟(SLM)等 单位表示。
控制器使用真正的比例阀联接到 流体，以便使用积分式 PID回路控制器来控制流量。标准设备包括 0 ~ 5V输出（可选4 ~ 20 mA）和RS232 通信。可从前端键盘或 通过RS232通信调整气体 选择功能和设定值。体积流量、质量 流量、绝对压力以及温度均可 通过RS232连接查看或记录。 在距离为46m（150’）的同一串口连接上，同时最多可与26台设备进行多点通信。
OMEGA FMA系列质量流量计