化学隔膜泵具有优异的耐化学腐蚀设计，所有与被抽介质接触的主要部件均由耐腐蚀的氟材料制成，对腐蚀性气体和蒸气有很好的耐受性。双级、三级和四级泵都配有一个气镇阀，在抽取冷凝性的蒸气时有利于保持泵的性能。
单级隔膜泵是持续地、无油地抽取气体或蒸汽的优秀解决方案，用于无需很高真空度的应用。在日常使用中，与水喷射泵相比，它们不需要消耗水资源，因此也不会产生任何废水。主要应用于中等气载的真空烘箱，单联抽滤或多联抽滤。通常该设备非常适用于抽取气体和无油排气。单级的结构使泵同时具有抽气速度大和达到70mbar极限真空的优点。
