FMA-2600A系列 FMA-2610A 气体质量流量计/控制器 Omega欧米茄
FMA-2600A系列 FMA-2610A 气体质量流量计/控制器 Omega欧米茄
规格:
精度: ±（读数的0.8% + 满量程的0.2%）
重复性: 满量程的±0.2%
量程比： 100:1
控制响应时间: 100 ms
输入控制信号: 0 ~ 5 Vdc, RS232
输出信号: 0 ~ 5 Vdc, RS232
可选输入/输出: 4 ~ 20 mA, 0 ~ 10 Vdc
工作温度: 10 ~ 50°C (14 ~ 50.00°C)
零点偏移: 满量程的0.02%/°C
量程偏移: 满量程的0.02%/°C
湿度量程: 0 ~ 100% RH，无冷凝
附加流速: 满量程的2.4%
接液材质：303和302不锈钢、氟橡胶、硅酮RTV（橡胶）、玻璃强化型尼龙、铝、铜、410不锈钢、硅酮、玻璃；>250 SLM：416不锈钢和镍替换铜
最大压力
质量流量控制器: 145 psig
使用体积模式: 使用体积模式：近大气，建议最大15 psig。
体积流量计和控制器不保证超出流量计额定流量范围的质量流速的准确性。这些值仅适用于近大气压力条件。建议最大工作压力为15 psig
额定最小压差: 5 SLM 及以下: 5 psid; 10 ~ 250 SLM: 15 psid; 500 SLM: 5 psid; 1500 SLM: 10 psid
电源电流: 20 SLM及以下0.250 A；50 SLM及以上0.75 A（常规）
电源电压: 20 SLM及更小的设备12 ~ 30 Vdc；50 SLM及更大的设备24 ~ 30 Vdc
电气连接: 8针圆形迷你DIN