Edwards EXT556H 复合涡轮分子泵
性能特点
高临界前级压力。
高体积流速。
* 抽速快。
多级Holweck分子拖曳结构，对轻气体产生高压缩比。
极限真空 <10E-10 mbar 。
提高了EXT的性能和可靠性。
复合轴承。
免维护。
机加工整体转子。
直流电机驱动。