In/MgF2镀膜的AUTO Z精度
AUTO Z大大地提高了多层材料和膜层测量的膜厚精度。
AUTO TUNE – 用于快速设置
IC/5的Auto Tune功能免除了反复试探的步骤，节省了设置时间，它可快速地自动确定源的反馈控制闭环常数。Auto Tune选择若干控制算法中的最佳算法 – 包括三参数PID（正比，积分，微分）算法 – 达到对各种各样源的平稳控制。
多传感件测量 – 用于高重复性
对某些光学镀膜和其它应用，重复性与均匀度是尤其重要的。IC/5控制仪可集成多至8个传感件的测量，将源的不均匀分布效应降至最小，并确保上一次与下一次镀膜运行之间的膜层沉积速率和最终膜厚良好的一致性。当基片在行星基片架上旋转时，IC/5从各个传感件的位置上同时收集数据，确保取得的信息代表当前源的分布。与单个传感件的控制仪比较，多传感件测量由于控制膜层的固定总合沉积速率、与源分布中的波动无关，大大地改善了膜厚的重复性。当源的分布模式改变时，IC/5适当地调整功率。尽管任何一个传感件上的沉积速率可有相当大的变化而总的沉积速率保持不变。沉积于每个基片上的材料总量受到精确的控制；总的膜厚精度与单个传感件的控制仪相比可提高两至三倍。由于准确地探测源的耗损导致的特性变化，多传感件测量可帮助您：
预计何时需再添加源
确定电子枪的扫描、射程和高频率振动等参数的最佳设置值
配制更好的过程处方
因为所有传感件均链接至一台IC/5控制仪，对机柜的空间要求最小，其校正速度比老式的多控制仪/计算机组合结构要快三至五倍。
精确的共沉积
IC/5控制两种材料的同时镀膜。它包含一个编程的比值参数，在变化的沉积速率中控制合金的比率，还有一个交叉灵敏度（或串适）参数，自动补偿来自一个源的材料镀覆至用于控制另一个源的传感件上。Auto Z功能还对IC/5的共沉积有贡献，当不同材料混合在一个晶体上时保持膜厚的精度。
容易装入现有的装置中
IC/5备有适配电缆，易于安装至现有的装置中，更换老的INFICON或其它制造厂的膜层控制仪。详细请与我们技术支持部门联系。