干式运行的真空泵，特别适用于需要抗化学腐蚀或需要长时间不间断运行的场合。所有与气体接触的部位都做特氟龙（聚四氟乙烯PTFE）处理并用碳纤维加固，完全保证了泵的抗化学腐蚀性能。隔膜采用三明治结构（即多层结构），以增加隔膜的韧性和强度。