美国AEP Technology公司主要从事半导体生产检测设备, MEMS生产检测设备, 光学生产检测设备的生产制造，是表面测量解决方案行业的领先供应者,专门致力于材料表面形貌测量与检测。该公司生产的NanoMap500WLS非接触三维表面形貌仪，基于白光干涉测量法，是目前功能极强的全新表面三维轮廓仪，具有很高的精密度和准确度，既用来获得样品表面垂直分辨率高达0.05nm的三维形态和形貌，又可以定量地测量表面粗糙度及关键尺寸，诸如晶粒、膜厚、孔洞深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等，并计算关键部位的面积和体积等参数。所有测量都是非破坏性和快速的，样件无须专门处理，在高速扫描状态下测量轮廓范围可以从0.1nm 到10mm。由于采用独特的缝合技术，无论怎样的表面形态、粗糙程度以及样品尺寸，一组m×n图像可以被缝合放大任何倍率，在高分辨率下创造一个大的视场，并获得所有的被测参数。NanoMap500WLS非接触三维表面形貌仪的应用领域覆盖了薄膜/涂层、工业轧钢和铝、纸、聚合物、生物材料、陶瓷、磁介质和半导体等几乎所有的材料领域。