两种类型:
- 铝质型:湿的部份以铝、FPM及PE制造，适用于接触刺激性较低的气体及水气。
- 化学型:所有接触气体及水气的部份均只采用化学防腐性高之氟化塑料。
应用:
三级真空泵，最终真空度可达2mbar，高效动力原理令隔膜运作时的磨损减至最轻微，提高其可靠性，增长其寿命,，更把噪音减至最低。与气体接触的部份采用了防腐性高之物质-FPM及铝或PTFE混合物。