两种类型:
- 铝质型:湿的部份以铝、FPM及PE制造,适用于接触刺激性较低的气体及水气。
- 化学型:所有接触气体及水气的部份均只采用化学防腐性高之氟化塑料。
应用:
二级真空泵,最终真空度可达9mbar,高效动力原理令隔膜运作时的磨损减至最轻微,提高其可靠性,增长其寿命,,更把噪音减至最低。与气体接触的部份采用了防腐性高之物质-FPM及铝或PTFE混合物。